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在电池薄膜生产线上，在线检测轮廓厚度是品质监控的重要一环。该测量任务需要采用超高空间分辨率和采样频率的传感器。采用德国米铱公司激光位移传感器，是解决该种测量任务的一种经典办法。电池薄膜由挤出机生产。两支激光位移传感器被安装于C型臂框架上，薄膜由空气轴承推起，与大理石台无物理接触。采用这种方式，目的是大限度的减少薄膜的振动，从而使精密测量成为可能。整个C型臂的热力学膨胀，由电涡流位移传感器进行测量并补偿。该测量系统还采用了特殊的空气清洁机制，使其可以应用于恶劣的使用环境。电脑软件可以处理和分析测量数据，并计算出厚度值。
测量机械机构
C型臂，空气轴
传感器测量系统
激光位移传感器，电涡流位移传感器和拉绳位移传感器
传感器参数
- 量程 10mm
- 测量精度 ±0.025 mm
- 重复精度 0.4 µm
